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过滤器（除雾器系统）
(1)使用目的
(2)GAS的密度
kg/m3
(3)GAS的流量
m3/Hr
(4)GAS的压力
kg/Cm3
(5)GAS的温度
℃
(6)GAS的粘度
Poise
(7)GAS的分子量
(8)MIST密度
(9)MIST浓度
-g/m3
(10)MIST粘度
CP
(11)MIST径
μ
(12)MIST名
(13)允许损失
mmAq
(14)材质
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